本型号小型等离子溅射仪，采用二级溅射方式，广泛用于SEM样品制备或金属镀膜试验。采用低温等离子体溅射工艺，镀膜过程中无高温，不易产生热损伤。该小型等离子溅射仪使用PLC控制系统，全部触摸屏操作，便于学习使用。设备体积小巧造型美观，是实验室镀膜试验的zui佳选择。
项目 | 明细 |
产品型号 | CY-PSP180G-1TA |
样品台 | 直径φ60mm，高度可调 |
直流溅射头 | 2”x1 |
腔体材质 | 高纯石英 |
腔体尺寸 | φ180mm X 100mm |
真空泵 | 旋片泵 |
极限真空 | 1.0E-1Pa |
真空接口 | KF16真空法兰 |
进气口 | φ8快拧接头 |
供电电源 | AC 220V 50Hz |
整机功率 | 1.5KW |
