本产品为桌面型小型双源蒸发镀膜仪，设备安装有两套蒸发源，各蒸发源分别供电，可交替开启也可同时开启；每个蒸发源可提供zui大100A的镀膜电流，zui大蒸发温度可达1800℃，能够满足各种常见金属的蒸镀及部分非金属蒸镀，因此被广泛用于电极的制备和有机物发光LED的制备。真空腔体采用不不锈钢制作，配合分子泵组可达到5x10-5Pa极限真空，能够满足绝大部分材料蒸发所需的真空环境。两组蒸发源对称放置，每个蒸发源均具有单独的挡板，可保证镀膜过程中不被污染。
小型双源蒸发镀膜技术参数：
产品名称 | 桌面型双源蒸发镀膜仪 |
产品型号 | CY-EVP170S-2S-A |
安装条件 | 1、使用环境温度 25℃±15℃，湿度 55%Rh±10%Rh； 2、设备供电：AC220V，50Hz，必须有良好接地； 3、额定功率：2500w； 4、设备用气：设备腔室内需充注氩气清洗，需客户自备氩气，纯 度 ≥99.99%； 5、摆放工作台尺寸要求 600mm×600mm×700mm，承重 70kg 以上； 6、摆放位置要求通风。 |
技术参数 | 1、 蒸发源数量：2个，每个蒸发源均配挡板； 2、 蒸发源电压：10V 3、 蒸发电流 0～100A 连续可调 4、 配 2 个钨舟、2个钨丝篮； 5、 不锈钢旋转上置样品台,直径为60mm； 6、 样品与蒸发源的距离为 60～100mm 连续可调； 7、 真空腔体为不锈钢腔体其外径为170mm，内径为160mm，高度为210mm； 8、 真空腔体抽气接口为 KF40； 9、 进气接口为 1/4 英寸双卡套接头，默认配不锈钢微调阀以调节进气量； 10、 显示屏为7英寸彩色触摸屏； 11、 可调节蒸发电流，可设置蒸发**电流值、**真空值； 12、 **保护：过流、真空过低自动切断蒸发电流； 13、 极限真空：5x10-5Pa(搭配分子泵)； 14、 真空测量为电阻规真空计，其量程为：1～105Pa |
注意事项 | 1、为充分发挥腔体的真空性能，建议搭配分子泵组使用。 |
可选配件 | |
厚监测仪 | 1、膜厚分辨率：0.0136Å（铝） 2、膜厚准确度：±0.5%，取决于过程条件，特别是传感器的位置， 材料应力，温度和密度 3、测量速度：100ms-1s/次，可设置测量范围：500000Å（铝） 4、标准传感器晶体：6MHz 5、适用晶片频率：6MHz 适用晶片尺寸：Φ14mm 安装法兰：CF35 |
其他配件 | 1、 钨舟、钨丝篮； 2、 有机蒸发源（含石英舟和钨丝发热源） 3、 CY-CZK103系列高性能分子泵组（含复合真空计，测量范围 10-5Pa~105Pa）； CY-GZK60系列小型分子泵组（含复合真空计，测量范围10-5Pa~102Pa） VRD-4双极旋片真空泵； 4、 KF40真空波纹管；长度可选0.5m、1m、1.5m；KF25卡箍支架 5、 膜厚仪晶振片； |
