单靶磁控光纤绕丝溅射镀膜仪，专用于光纤制备薄膜,采用不锈钢高真空腔体，配有带挡板的观察窗，可以观察镀膜过程，挡板则能有效防止观察窗被膜层遮蔽，便于实验的观察记录。腔体上顶开式设计开启方便，易于清理，十分适合实验室使用。整机采用模块化设计，操作逻辑简单，操作界面直观，利于上手.
光纤镀膜仪技术参数:
绕丝机构 | 尺寸 | Φ15mmx245mm | ||
绕丝速度 | 1-300r/min | |||
磁控溅射头 | 数量 | 2 英寸 x1 | 冷却方式 | 水冷 |
真空腔体 | 腔体尺寸 | Φ213mm X 307mm | 观察窗口 | φ80mm |
腔体材料 | 不锈钢 304 | 开启方式 | 上顶开式、左侧开式 | |
电源配置 | 直流电源数量 | 1 台 | 输出功率 | ≤300W |
匹配方式 | 自动匹配 | |||
水冷系统 | 水箱容积 | 9L | 流量 | 10L/min |
供气系统 | 类型 | 手动微量调节阀 | ||
真空系统 | 前级泵 | 双极旋片泵 | 抽速 | 1.1L/s |
次级泵 | 涡轮分子泵 | 抽速 | 60L/s | |
抽气口 | ISO63 | 出气口 | KF16 | |
真空计 | 复合真空计 | |||
其他 | 供电电压 | AC220V,50Hz | 整机功率 | 2kw |
