加热型旋转涂覆仪采用全铝合金腔体,美观坚固。仪器采用xian进的精密电机,转速能达到10000转/分,有效的保障了成膜的均匀性。除了基本的旋涂功能,本品还配有加热组件,可以加热到200℃,由智能温控表控温,温度测定准确,升温过程完全可控。另外本仪器采用触控屏控制,可以预设匀胶曲线,大大简化了使用过程降低了学习成本,十分适合实验室选购。
加热型旋转涂覆仪适用范围:
加热型旋转涂覆仪可以将液态或胶体材料涂覆在硅片、晶体、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,主要应用于光刻胶旋涂、生物培养基制作、溶胶凝胶法制作高分子薄膜等领域。
加热型旋转涂覆仪技术参数:
项目 | 明细 | |
旋涂仪 | 供电电压 | AC220V,50Hz |
转速 | 0~10000rpm | |
加速度 | 100~5000rpm/s | |
转速分辨率 | 1rpm | |
单步时间 | 3000s | |
基片尺寸 | 直径≤8英寸(200mm) | |
腔体材质 | 铝合金 | |
加热温度 | ≤200℃ | |
控温方式 | AIP智能控温 | |
操作方式 | 7寸高清LCD触控屏 | |
滴胶方式 | 手动滴胶,可选购精密注射泵 | |
匀胶曲线 | 每条曲线5段,共可储存5条曲线 | |
抽气接口 | φ6mm 快拧接口 | |
整机尺寸 | 290mm×365mm×300mm | |
整机重量 | 12kg | |
排气系统 | 真空泵 | 干式机械泵 |
抽气速率 | 50L/min | |
供电电源 | AC220V 50/60Hz |