数控机床多轴联动位置反馈光纤激光尺

PLR3000数控机床多轴联动位置反馈光纤激光尺基于激光干涉测量原理，专为超精密加工、微电子制造、光刻技术、航空航天等高要求领域设计。其突破性技术融合高稳定性氦氖激光光源与保偏光纤传输，支持单轴至多轴测量。

一、应用案例

1. 半导体制造：光刻机晶圆精准定位、精密工件台闭环反馈，助力芯片制造良率提升；

2. 航空航天：发动机叶片形变检测、高精度装配校准，保障核心部件可靠性；

3. 精密加工：数控机床多轴联动位置反馈、微机械元件测量，提升加工精度与效率；

4. 科研领域：光学平台稳定性监测、超精密实验设备控制，支撑前沿研究数据精准度；

二、产品优势

1. 高精度

（1）分辨率10nm（可拓展），线性测量精度0.2ppm，稳频精度0.02ppm，满足纳米级测量需求。

（2）环境气象站实时补偿温度、湿度、气压对测量的影响，确保数据长期稳定。

2. 灵活配置

（1）支持单轴、双轴、三轴输出，轻松实现多自由度测量。

（2）可选差分干涉仪、平面镜干涉仪、角锥棱镜干涉仪等多种探头，适配复杂场景。

3. 高稳定性与便捷性

（1）激光光源与探头分离设计，3米铠装光纤连接，避免设备散热干扰，安装灵活。

（2）体积小巧，适配狭小空间，降低阿贝误差风险。

4. 广泛适用性

大量程4米（可拓展），支持动态速度达2m/s，覆盖从静态检测到高速运动场景。

PLR3000数控机床多轴联动位置反馈光纤激光尺分辨率可达10nm，线性精度高达0.2ppm，具有更高的稳定性，安装快捷，易于准直等特点，为复杂工业场景提供精准、可靠的位置反馈与控制。在微电子、微机械、微光学等现代超精密加工制造、光刻技术以及航空航天等高科技领域广泛应用。

产品参数将根据技术迭代持续优化，故本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

数控机床多轴联动位置反馈光纤激光尺由深圳市中图仪器股份有限公司 为您提供，如您想了解更多关于数控机床多轴联动位置反馈光纤激光尺报价、参数等信息 ，欢迎来电或留言咨询。