高精度位置反馈激光干涉尺

中图仪器PLR3000高精度位置反馈激光干涉尺分辨率可达10nm，线性精度高达0.2ppm，一站式解决高要求场景下的位置检测难题，为超精密加工、微电子制造、航空航天等领域打造“精准+高效+灵活"的测量体验。

一、产品应用

1. 半导体制造：光刻机晶圆精准定位、精密工件台闭环反馈，助力芯片制造良率提升；

2. 航空航天：发动机叶片形变检测、高精度装配校准，保障核心部件可靠性；

3. 精密加工：数控机床多轴联动位置反馈、微机械元件测量，提升加工精度与效率；

4. 科研领域：光学平台稳定性监测、超精密实验设备控制，支撑前沿研究数据精准度；

二、产品优势

1. 精度碾压传统方案：相比钢带尺/玻璃光栅，栅距更精准、分辨率更高，环境补偿技术进一步保障数据稳定性；

2. 定制化适配能力：支持量程拓展、探头选配、多通道输出，根据客户生产场景量身定制方案；

3. 降本增效属性：体积小巧降低阿贝误差，安装快捷减少调试成本，动态测量能力适配高速生产线；

4. 全周期可靠保障：激光校准认证加持，数据可追溯，满足工业生产合规要求；

注：产品参数将随技术迭代优化，相关内容可能实时更新，恕不另行通知，敬请谅解。

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高精度位置反馈激光干涉尺由深圳市中图仪器股份有限公司 为您提供，如您想了解更多关于高精度位置反馈激光干涉尺报价、参数等信息 ，欢迎来电或留言咨询。