10nm分辨率光纤激光尺

光纤激光尺比传统光栅精度高10倍，分辨率达原子层级（10nm=100个原子直径！）以突破性激光干涉技术，一站式解决高要求场景下的位置检测难题。PLR3000系列10nm分辨率光纤激光尺已在多个客户端进行精度验证：用差分干涉（DI）探头对高精度纳米位移台进行闭环控制，在10mm行程内任意位置实现纳米级位置控制精度。

一、测量功能

1.纳米级信号输出：10nm高分辨率（支持外部拓展），正交数字/1Vpp正余弦信号双输出，适配各类控制器；

2. 全环境自适应：一体化环境气象站，实时补偿环境参数对测量的影响，数据长期可靠；

3. 灵活安装设计：激光主机与探头分离，3m铠装光纤连接，远离热源干扰，狭小空间也能便捷安装；

4. 多维度测量支持：单轴/双轴/三轴自由配置，搭配多种干涉探头，轻松实现多自由度测量；

5. 双重使用模式：PLR3000系列10nm分辨率光纤激光尺既可作为激光干涉仪独立测量，也可接入系统实现闭环位置反馈控制；

二、典型应用

1. 半导体制造：光刻机晶圆精准定位、精密工件台闭环反馈，助力芯片制造良率提升；

2. 航空航天：发动机叶片形变检测、高精度装配校准，保障核心部件可靠性；

3. 精密加工：数控机床多轴联动位置反馈、微机械元件测量，提升加工精度与效率；

4. 科研领域：光学平台稳定性监测、超精密实验设备控制，支撑前沿研究数据精准度；

注：产品参数将根据技术迭代持续优化，故本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

10nm分辨率光纤激光尺由深圳市中图仪器股份有限公司 为您提供，如您想了解更多关于10nm分辨率光纤激光尺报价、参数等信息 ，欢迎来电或留言咨询。