光学表面轮廓仪系统

中图仪器SuperViewW光学表面轮廓仪系统一体化高精度测量粗糙度与轮廓度。它以0.1nm级分辨率、8μm/s扫描速度、300+种标准参数，可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

一、行业应用

1.半导体制造：适配硅晶片研磨减薄后的粗糙度检测、光刻槽道轮廓测量，助力头部企业工艺良率提升8%，检测数据通过国际标准认证，满足供应链合规要求。

2.3C电子：精准测量手机玻璃屏粗糙度、金属壳模具瑕疵、油墨屏高度差，批量检测报表支持Word/Excel/PDF格式自动导出，适配供应链质检存档需求。

3.光学加工：量化纳米台阶高度、光学元件表面轮廓，916.5nm台阶测量重复性达0.08%，帮助企业产品合格率从92%提升至99.2%。

4.汽车零部件：检测精密轴承孔隙间隙、齿轮表面磨损轮廓，在复杂车间环境中保持数据稳定，某车企质检周期缩短50%。

二、核心配置

1. 自研软件平台：Xtremevision Pro支持多机型自动识别，白光干涉与共聚焦模式自由切换，可直接测量微观轮廓的距离、角度等参数。

2. 灵活硬件配置：320×200mm载物台（负载10kg），标配10×干涉物镜，可选2.5×-100×镜头，适配不同尺寸、类型工件。

3. 安全与便捷：集成式操纵杆控制XYZ轴、速度及光源亮度，急停功能一键触发，新手培训1天即可独立操作。

三、性能特点

1.超高精度，数据可追溯：基于白光干涉技术，形貌重复性低至0.1nm，粗糙度RMS重复性仅0.005nm，台阶测量准确度达0.3%。搭配0.1nm分辨率环境噪声评价与气浮隔振底座，即便在车间振动环境中，也能输出稳定可靠的数据，满足ISO/ASME等300余种国内外标准要求。

2.高效自动化，降本增效：W1-Ultra型号在0.1nm分辨率下扫描速度高达8μm/s，单区域、多区域测量一键启动，批量样品可通过编程预设流程实现自动化检测。某3C电子代工厂应用后，检测效率提升60%，日均处理样品量从300件增至480件，人力成本降低30%。

3.全场景适配，无需频繁换设备：单一扫描模式覆盖超光滑到粗糙、镜面到全透明/黑色材质，10mm Z向扫描范围搭配方形、圆形等多种自动拼接模式，支持数千张图像无缝拼接，轻松应对半导体研磨件、3C玻璃屏、光学元件等不同类型工件的测量需求。

4.自研软件，适配性更强：Xtremevision Pro第二代3D测量软件，可自动识别中图W/VT/WT系列机型，支持白光干涉与共聚焦模式自由切换，能直接测量微观平面轮廓的距离、角度等参数，搭配批量分析与多格式报表导出功能，适配质检存档与工艺优化全流程。

SuperViewW光学表面轮廓仪系统为精密制造、科研检测等领域提供高精度+高效率+高适配的3D表面测量解决方案。如需获取行业定制化方案、产品演示视频或免费样品测试，欢迎联系中图仪器。

（注：产品参数与配置可能因技术升级调整，具体以实际沟通为准。）

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