激光编码器

激光编码器，又称光纤激光尺、激光干涉尺，它是利用激光干涉的原理对位移进行高精度测量输出，完成实时控制的闭环应用。是一种基于激光干涉测量原理的高精度、高灵敏度、高速度的位置检测设备，主要功能是位移高精度测量，闭环控制。广泛应用在超精密加工、微电子制造、光刻技术、航空航天等高要求领域中。按需提供量程拓展、线缆定制、探头配置等个性化方案，精准匹配客户具体场景（如8m长行程机床、5m航空部件检测）。

一、产品特点

1.激光编码器测量精度可达0.2-0.5ppm，测量距离100mm，测量精度高于0.5μm，实现细分精度小于1nm；

2.激光干涉测量速度快，可达2000mm/s以上；

3.测量量程可以达到4m以上，可定制40米；

4.安装简便，对安装面无特殊要求，角锥与激光探头相对在一条直线上即可，直线度要求不高，因为激光探头有调整装置，可以很方便的将激光光束对准；

5.受环境影响小，其光波长的热膨胀很小，再叠加环境补偿系统的补偿，相当于一个0膨胀系数的光栅尺；

6.输出接口多样，主机输出接口包含USB接口和位置输出接口，位置输出接口有数字正交编码输出(TIA/EIA-422)、正余弦信号输出(1Vpp)、USB-SDK开发包。

二、解决4大核心问题

三、应用场合

1.高精度数控机床的位置反馈

如加工航空航天设备的高精度大型机床，此时就需要激光闭环来满足需求。

2.高精度大型三坐标测量机

大型工件测量往往对精度和量程要求很高，同时还对温度非常敏感，光纤激光干涉尺的环境补偿组件可以度温度进行补偿，使之更合适高精度大型三坐标测量机使用。

3.光刻机

光纤激光尺的高精度、高抗震性能，非常适合光刻机使用。

4.普通光栅尺刻划、检验

由于光纤激光尺的测量精度高出普通光栅尺一个数量级，故可以使用光纤激光尺作为“母光栅"进行光栅尺的刻划、检验工作。

5.高精度运动平台

光纤激光尺安装在高精度直线电机上，做高精度直线点击的反馈，可直接提升运动平台的控制精度。

6.其他检验检测设备

配合高精度圆光栅，可以做丝杠导程误差的检测。双轴测量可减小阿贝误差，降低机械成本。

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