探针式台阶仪品牌

中图仪器探针式台阶仪品牌NS系列13μm量程下实现0.01埃分辨率，5Å超高解析力，精准捕捉几纳米至几百微米的台阶形貌，为严苛检测标准提供硬核数据支撑。

一、参数测量功能

（1）台阶高度：能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。

（2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等数十项参数。

（3）应力测量：可测量多种材料的表面应力。

二、测量模式与分析功能

（1）单区域测量模式：完成Focus后根据影像导航图设置扫描起点和扫描长度，即可开始测量。

（2）多区域测量模式：完成Focus后，根据影像导航图完成单区域扫描路径设置，可根据横向和纵向距离来阵列形成若干到数十数百项扫描路径所构成的多区域测量模式，一键即可完成所有扫描路径的自动测量。

（3）3D测量模式：完成Focus后根据影像导航图完成单区域扫描路径设置，并可根据所需扫描的区域宽度或扫描线条的间距与数量完成整个扫描面区域的设置，一键即可自动完成整个扫描面区域的扫描和3D图像重建。

（4）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。

三、应用案例

中图仪器探针式台阶仪品牌NS系列具有亚埃级分辨率，13μm量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差，使得产品能扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。主要在材料研发、工艺优化与质量管控中，测量台阶高度（纳米至1050μm）、表面粗糙度（Ra、Rz等参数）、膜层厚度及应力分布。

注：产品参数与服务可能根据技术升级实时更新，具体以新标准为准，详情可咨询客服获取完整资料。

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