光学3D表面轮廓仪

中图仪器SuperViewW光学3D表面轮廓仪以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像。它能以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括：

表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；

几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。

SuperViewW系列光学3D表面轮廓仪0.1nm分辨率搭配0.1nm形貌重复性（STR）、0.005nm粗糙度RMS重复性，连续10次测量Sa=0.2nm硅晶片，数据偏差＜0.001nm，符合ISO 25178、ISO 10610等300余种国内外标准。无论是纳米级台阶高度、微观几何轮廓，还是超光滑表面粗糙度，均能精准量化，为工艺调整提供可信的量化依据。

一、解决四大核心测量痛点

二、应用场景

1.半导体制造：适配硅晶片研磨减薄后的粗糙度检测、光刻槽道轮廓测量，助力头部企业工艺良率提升8%，检测数据通过国际标准认证，满足供应链合规要求。

2.3C电子：精准测量手机玻璃屏粗糙度、金属壳模具瑕疵、油墨屏高度差，批量检测报表支持Word/Excel/PDF格式自动导出，适配化供应链质检存档需求。

3.光学加工：量化纳米台阶高度、光学元件表面轮廓，916.5nm台阶测量重复性达0.08%，帮助企业产品合格率从92%提升至99.2%。

4.汽车零部件：检测精密轴承孔隙间隙、齿轮表面磨损轮廓，在复杂车间环境中保持数据稳定，某车企质检周期缩短50%。

三、应用领域图片

四、核心配置

1. 自研软件平台：Xtremevision Pro支持多机型自动识别，白光干涉与共聚焦模式自由切换，可直接测量微观轮廓的距离、角度等参数。

2. 灵活硬件配置：320×200mm载物台（负载10kg），标配10×干涉物镜，可选2.5×-100×镜头，适配不同尺寸、类型工件。

3. 安全与便捷：集成式操纵杆控制XYZ轴、速度及光源亮度，急停功能一键触发，新手培训1天即可独立操作。

SuperViewW系列光学3D表面轮廓仪高精度、高效率、高适配、低运维，是精密制造企业的选择检测设备。如需获取产品演示视频、行业专属方案或免费样品测试，欢迎联系客服。

注：产品参数与配置以实际交付为准，中图仪器保留根据技术升级调整的权利，恕不另行通知。