中图白光干涉三维轮廓仪

SuperView W1白光干涉三维轮廓仪基于白光干涉技术，结合精密Z向扫描与3D建模算法，实现样品表面纳米级精度的非接触三维测量。其复合型EPSI算法兼顾大扫描范围与高分辨率，克服了传统方法的局限。设备具备自动拼接、多区域测量及双重防撞保护等功能，并搭载气浮隔振系统确保在车间环境中稳定工作。广泛应用于半导体、光学加工、MEMS及航空航天等领域，满足从超光滑到粗糙、低反到高反各种表面的形貌与尺寸分析需求。