涂层厚度测量台阶仪

中图仪器NS系列涂层厚度测量台阶仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。

在半导体、微纳材料及光电子等高精尖领域，微观结构的测量精度直接关乎良率。面对复杂的微米级甚至纳米级特征，您需要一款不仅能测得准，还能测得全的设备。

NS系列台阶仪凭借其强大的通用性，覆盖以下核心应用场景：

1.半导体与微电子：无论是晶圆表面的刻蚀深度、光刻胶层厚度，还是IC封装中的Bump高度与TSV深度，均能精准捕捉。

2.微纳材料研发：针对石墨烯等二维材料的极薄厚度测量，以及微流控通道的结构表征，提供亚埃级的分辨率支持。

3.光伏与面板：适用于太阳能电池栅线高度及平板显示器触控点的微观轮廓测量，支持大200mm（8英寸）样品的真空吸附固定，满足工业级检测需求。

无论您的样品是硬质的硅片还是软性的高分子膜，Nano Step都能助您洞察微观世界的每一个细节。