0.1nm白光干涉仪测量晶圆减薄表面

中图仪器SuperView W1白光干涉非接触式粗糙度测量仪，基于白光干涉技术，可对从超光滑到粗糙表面的纳米至微米级形貌进行非接触高精密测量。其具备高精度与高重复性，配备自动对焦、拼接测量及一键分析等智能功能，测量高效便捷。仪器拥有双重防撞保护与气浮隔振系统，能有效隔离环境振动，适用于车间等多种环境。广泛应用于半导体、材料等领域，进行粗糙度、台阶高度、平面度等关键参数的精确表征。