白光干涉三维形貌测量系统

中图仪器SuperViewW白光干涉三维形貌测量系统基于白光干涉原理，能以非接触方式对器件表面进行亚纳米级三维形貌测量。其具备高精度与高重复性，集成双重防撞保护与环境噪声检测功能，可有效隔离振动干扰。系统提供自动化测量与丰富的数据分析功能，广泛应用于半导体、光学加工及微纳制造等领域，满足从粗糙度到微观几何轮廓的精密检测需求。