中图W1白光干涉仪

中图W1白光干涉仪用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。它基于白光干涉原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，结果组成：

1、三维表面结构：粗糙度，波纹度，表面结构，缺陷分析，晶粒分析等；

2、二维图像分析：距离，半径，斜坡，格子图，轮廓线等；

3、表界面测量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；

4、薄膜和厚膜的台阶高度测量；

5、划痕形貌，摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量；

6、微电子表面分析和MEMS表征。

还在为“分辨率不足，纳米级微观形貌无法量化"“多材质测量需频繁换设备，效率低下"烦恼吗？作为深耕超精密测量领域的专业国内白光干涉仪品牌厂家，中图仪器凭借自主研发的SuperView W系列，依托白光干涉技术与复合型EPSI重建算法，粗糙度RMS重复性低至0.005nm，形貌重复性达0.1nm，轮廓度（台阶测量）准确度仅0.3%。

在微纳测量领域，精度就是生命线。中图W1白光干涉仪以白光干涉技术为核心，各项指标均达到行业水平。

1.重复性：粗糙度RMS重复性可达 0.005nm（依据ISO 25178标准，测量Sa为0.2nm硅晶片）。

2.台阶测量精度：准确度达0.3%，重复性0.08% (1σ)。

3.超高分辨率：Z向扫描范围10mm，形貌重复性STR达 0.1nm。

4.气浮隔振：标配气浮式隔振底座，有效隔离地面振动噪声，确保每一次微观测量的精准。

用数据说话，为您的科研与生产提供最严谨的数据支撑。

注：产品参数与配置以实际交付为准，中图仪器保留根据技术升级调整相关内容的权利，恕不另行通知。

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