台阶仪生产厂家一站式测量复杂纳米级特征

中图仪器NS系列台阶仪是面向半导体等严苛检测场景的一站式测量解决方案。它采用探针式轮廓测量技术，具备亚埃级垂直分辨力与纳米级重复性，可精准测量抗蚀剂等材料的台阶高度、粗糙度及应力分布。仪器支持单点快速检测与多区域批量扫描，并具备3D可视化与SPC统计分析功能，显著提升从研发到量产的检测效率与数据一致性，为工艺优化和质量管控提供硬核支撑。