VT-X100共聚焦测量头

VT-X100共聚焦测量头

　　VT-X100共聚焦测量头是一款非接触式精密光学测头，其基于光学共轭共焦和精密扫描研制而成，主要由光学共聚焦系统和Z向扫描系统组成，具有体积小、重量轻的特点，能够方便地搭载在各种具备XY水平位移架构的平台上，在产线上对器件表面进行测量，直接获取与表面质量相关的粗糙度、轮廓尺寸等2D/3D参数。