0.1nm3d白光干涉仪

中图仪器0.1nm3d白光干涉仪高分辨率，采用白光干涉技术，以优于纳米级的分辨率进行非接触测量。它具备高精度、高重复性，配备复合型EPSI算法，兼顾大范围扫描与高精度，并支持自动拼接和多区域测量。仪器操作便捷，提供自动对焦、防撞保护及环境噪声检测功能，广泛适用于3C、LED、集成电路等领域，可快速获取表面粗糙度、轮廓等百余项参数。