纳米级台阶高度测量仪

中图仪器NS系列纳米级台阶高度测量仪采用LVDC电容传感器，具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。

产品功能

1.参数测量功能

1）台阶高度：能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。

2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等数十项参数。

3）应力测量：可测量多种材料的表面应力。

2.测量模式与分析功能

1）单区域测量模式：完成Focus后根据影像导航图设置扫描起点和扫描长度，即可开始测量。

2）多区域测量模式：完成Focus后，根据影像导航图完成单区域扫描路径设置，可根据横向和纵向距离来阵列形成若干到数十数百项扫描路径所构成的多区域测量模式，一键即可完成所有扫描路径的自动测量。

3）3D测量模式：完成Focus后根据影像导航图完成单区域扫描路径设置，并可根据所需扫描的区域宽度或扫描线条的间距与数量完成整个扫描面区域的设置，一键即可自动完成整个扫描面区域的扫描和3D图像重建。

4）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。

3.双导航光学影像功能

在NS200-D型号中配备了正视或斜视的500W像素的彩色相机，在正视导航影像系统中可精确设置扫描路径，在斜视导航影像系统中可实时跟进扫描轨迹。

4.快速换针功能

采用了磁吸式测针，当需要执行换针操作时，可现场快速更换扫描测针，并根据软件中的标定模块进行快速标定，确保换针后的精度和重复性，减少维护烦恼。

长期以来，亚埃级分辨率的台阶仪市场被进口品牌占据，企业往往需要承担高昂的设备采购与维护成本。

Nano Step系列的出现，打破了这一局面，为您带来投资回报率（ROI）：

1.同级性能，更优成本：我们采用线性可变差动电容传感器（LVDC）技术，实现了0.5Å（0.05nm）的垂直分辨率。

2.超低持有成本：标配气浮隔震台与500万像素高清相机，无需额外昂贵的选配费用。同时，核心部件采用花岗岩基座，结构稳定，长期维护成本低。

3.无损耗材压力：采用耐用的金刚石测针，且测力低至0.05mg，延长了测针寿命，减少了后续耗材的持续投入。

选择NS系列纳米级台阶高度测量仪，就是选择将每一分预算都花在核心性能上。

如需了解产品详细参数、申请样品测试，或针对您的光刻工艺定制专属检测方案，欢迎随时联系中图仪器。

（注：产品参数与功能将随技术升级持续优化，具体以实际沟通为准）