中图仪器VT6000系列轮廓尺寸检测共聚焦显微镜,基于共聚焦技术,可对光滑至粗糙、低反光至高反光表面进行纳米级非接触3D测量。其具备自动拼接、一键批量分析及丰富的粗糙度与几何轮廓分析功能,高效表征工件微观形貌。设备集成操纵杆便捷操作,并配备镜头压力传感与光源自动保护等安全设计,显著提升耐用性与操作安全性。广泛应用于半导体、3C电子、汽车及新材料领域的精密器件表面质量检测。
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