软膜材料台阶高度蚀刻速率测定仪

中图仪器NS系列软膜材料台阶高度蚀刻速率测定仪利用光学干涉原理，通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度，具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。它可以测量各种材料的膜层厚度，包括金属、陶瓷、塑料等。

如针对测量ITO导电薄膜的应用场景，NS系列软膜材料台阶高度蚀刻速率测定仪提供如下便捷功能：

1）结合了360°旋转台的全电动载物台，能够快速定位到测量标志位；

2）对于批量样件，提供自定义多区域测量功能，实现一键多点位测量；

3）提供SPC统计分析功能，直观分析测量数值变化趋势；

技术指标

1.亚埃级分辨率：搭载高灵敏度LVDC电容传感器，在保证大量程（最大2620μm）的同时，实现了高0.005nm（0.05Å）的垂直分辨率，精准捕捉纳米级波动。

2.恒定微测力控制：测力范围0.05mg - 50mg连续可调。低测力确保了在测量光刻胶、生物膜等软性材料时，不会划伤样品表面，保证测量的真实性。

3.高重复性：台阶高重复性达到6Å（1σ）或0.1%，确保每一次测量数据都稳定可靠。

4.高清可视化：配备500万像素高清彩色摄像机与4um的光学分辨率，让微小区域的定位与观察变得清晰直观。