中图仪器NS系列国产台阶仪采用线性可变差动电容传感器(LVDC),具备亚埃级分辨率和超微力调节能力,可精确测量纳米至毫米级的台阶高度、粗糙度及应力等参数。其集成超低噪声采集与精细运动控制,支持单区域、多区域及3D测量模式,并配备双导航光学影像与快速磁吸换针功能。该仪器对样品材料无特殊要求,广泛应用于半导体、光伏、MEMS等领域,为表面形貌分析提供高精度、高效率的测量解决方案。
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