0.005nm（0.05Å）垂直分辨率台阶仪

中图仪器NS系列高分辨率台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，采用线性可变差动电容传感器（LVDC）实现亚埃级分辨率和超微力调节，确保无损伤精准测量。其具备台阶高、粗糙度、应力等多参数测量功能，以及单区域、多区域和3D测量模式，适应性强。仪器集成高精度XY旋转台、500万像素成像及磁吸快速换针系统，广泛应用于半导体、光伏、MEMS等领域，为表面形貌表征与工艺改善提供关键数据支撑。