中图仪器VT6100共聚焦超分辨显微镜基于光学共轭共焦原理,具备高精度(高度重复性达12nm)与高稳定性。其一体化测量分析软件支持自动拼接、批量测量及多维数据分析,操作高效。仪器配备双重防撞保护与精密操纵手柄,适用于半导体、材料等领域的微观形貌与粗糙度检测,尤其擅长大坡度样品清晰成像。
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