白光干涉仪全自动化检测微透镜阵列

中图仪器SuperViewW白光干涉仪基于低相干干涉原理，实现纳米级垂直分辨率，可非接触式精准测量微透镜阵列的曲率半径、矢高等核心参数。设备支持Mark点自动定位与工艺坐标导入，能自动化批量检测数千至数万个单元，并自动完成数据统计与分Bin。其全面覆盖从研发到量产的全流程检测需求，是光通信、AR/VR及晶圆级微透镜制造领域的高效质检装备。