沉积薄膜高度台阶仪

中图仪器NS系列沉积薄膜高度台阶仪采用探针式轮廓测量技术，配备LVDC传感器和磁吸式测针，具备亚埃级分辨率与纳米至1050μm的台阶高度测量能力。它可精准测量薄膜厚度、粗糙度及应力，并支持单区域、多区域及3D测量模式。仪器集成双导航光学影像和快速换针功能，尤其适用于半导体、光伏等行业的ITO薄膜等材料的微观形貌表征与工艺分析，测量高效精准。