Alpha-Step D-500 探针式轮廓仪支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D 测量。 创新的光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量，大垂直范围和低触力测量功能。
设备特点
主要应用
纹理：2D粗糙度和波纹度
应力：2D薄膜应力
应用域
半导体和复合半导体
LED：发光二管
MEMS：微电子机械系统
医疗设备
台阶高度
Alpha-Step D-500测量2D纹理，量化样品的粗糙度和波纹度。 软件过滤功能将测量值分离为粗糙度和波纹度的部分，并计算诸如均方根（RMS）粗糙度之类的参数。
外形：翘曲和形状
Alpha-Step D-500能够测量在生产包含多个工艺层的半导体或化合物半导体器件期间所产生的应力。 使用应力卡盘将样品支撑在中性位置精确测量样品翘曲。 然后通过应用Stoney方程，利用诸如薄膜沉积工艺的形状变化来计算应力。
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