P-17是第八代台式探针轮廓仪。该系统先业界，支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达200mm而无需图像拼接。
二、功能
台阶高度：几纳米至1000μm
样品全直径扫描，无需图像拼接
圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差
生产能力：通过测序、图案识别和SECS/GEM实现全自动化
台阶高度：2D和3D台阶高度
形状：2D和3D翘曲和形状
缺陷复检：2D和3D缺陷表面形貌
半导体和化合物半导体
太阳能
数据存储
医疗设备
台阶高度
P-17提供2D和3D纹理测量并量化样品的粗糙度和波纹度。软件滤镜功能将测量值分为粗糙度和波纹度部分，并计算诸如均方根（RMS）粗糙度之类的参数。
外形：翘曲和形状
P-17能够测量在生产包含多个工艺层的半导体或化合物半导体器件期间所产生的应力。使用应力卡盘将样品支撑在中性位置并精确测量样品翘曲。 然后通过应用Stoney方程，利用诸如薄膜沉积工艺的形状变化来计算应力。2D应力通过在直径达200mm的样品上通过单次扫描测量，无需图像拼接。3D应力的测量采用多个2D扫描，并结合θ平台在扫描之间的旋转对整个样品表面进行测量。
缺陷复检
