D-600 台阶仪/轮廓仪/粗糙度仪

KLA的探针式台阶仪Alpha-Step D-600，可测量纳米至1200um台阶高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波纹度、应力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%台阶高度重复性以及亚埃的分辨率。

二、 功能

台阶高度：几纳米至1200μm

视频：500万像素高分辨率彩色摄像头

圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差

软件：用户友好的软件界面

台阶高度：2D台阶高度和3D台阶高度

形式：2D翘曲和形状

应用域

半导体和复合半导体

LED：发光二管

MEMS：微电子机械系统

医疗设备

台阶高度

Alpha-Step D-600测量2D和3D纹理，量化样品的粗糙度和波纹度。 软件过滤功能将测量值分离为粗糙度和波纹度的部分，并计算诸如均方根（RMS）粗糙度之类的参数。

外形：翘曲和形状

Alpha-Step D-600能够测量在生产包含多个工艺层的半导体或化合物半导体器件期间所产生的应力。使用应力卡盘将样品支撑在中性位置精确测量样品翘曲。 然后通过应用Stoney方程，利用诸如薄膜沉积工艺的形状变化来计算应力。