和优线性特性的电磁力驱动原理的深刻理解,以及高灵敏度的三片式电容传感器的设计,保证 KLA InSEM 系列:的激发器的结构设计,完全实现载荷和位移的分别控制和探测,完InForce50 载荷激发器 载荷激发器
• 纵向载荷分辨率: 3nN
• 位移噪音背景:<0.01nm
InForce1000 载荷激发器 载荷激发器
• 纵向载荷分辨率: 6nN
• 噪音背景:<0.1nm
NanoFlip 的样品台处于“Up”状态时,SEM/FIB 可以方便的观察样品和进行微区定位,当时的视频捕捉。
数据采集 数据采集 ( (InQuest 控制器 控制器) )
材料瞬间变化的捕捉:
• 控制器时间常数:20us
• X 向大行程:20 mm
• Z 向大行程:25 mm