OmniProbe 200

这是一款安装在FIB和SEM端口上的纳米操纵手，内置了一个100nm闭环反馈控制器，具有准确、灵活、易用等特点。

闭环系统

方案

选项

同轴旋转功能

同轴旋转分辨率可达0.1度，使样品在旋转期间一直处于相当于60um水平视场的放大倍率下成像。

可以安全的完成样品旋转，没有任何碰撞的风险。每次旋转后，不需要重新定位样品或探针尖端。

在FIB中，这保证了对针尖打磨的速率及简易性，以改善电学特性表征的可靠性及对20nm以下特征样品尺寸进行操作时的精确性。

自动化系统

电脑和显示器；

2U机架式以太网控制器；

带有100nm线性反馈的3轴样平台；

运动控制软件界面；

用户手册和安装指南。

特色和优点

包括第8代具有创新性的先进技术；

实现从纳米线操作到TEM样品制备，再到电学和机械测量的各种应用；

3轴样平台可以沿任意方向线性移动（全向性）；

在任何样品倾斜角度下都能实现正交导航；

将样品快速旋转到特定角度；

可以大范围内执行平稳而精确的操作；

即使在视野外也始终知道探头尖端的位置；

在任意端口安装都可以预测移动行为；

可以轻松地调出存储位置，减少操作员疲劳，并提高成功率；

避免碰撞；

气动插入/回缩链接到电镜软件（取决于OEM）；

内置能力，可为针施加最大+/- 10 V的偏压，用于电压衬度成像或其他应用。

同轴旋转功能

同轴旋转分辨率可达0.1度，使样品在旋转期间一直处于相当于60um水平视场的放大倍率下成像。

可以安全的完成样品旋转，没有任何碰撞的风险。每次旋转后，不需要重新定位样品或探针尖端。

在FIB中，这保证了对针尖打磨的速率及简易性，以改善电学特性表征的可靠性及对20nm以下特征样品尺寸进行操作时的精确性。

自动化系统

电脑和显示器；

2U机架式以太网控制器；

带有100nm线性反馈的3轴样平台；

运动控制软件界面；

用户手册和安装指南。

使用下面比较表帮助您为应用选择最佳的OmniProbe并比较指标。

SPECIFICATION	OMNIPROBE
	Cryo	OmniProbe 350	OmniProbe 400
Linearity	500 nm	500 nm	250 nm
Encoder resolution	100 nm	<50 nm	10 nm
Insertion repeatability	5 μm	5 μm	2 μm
Min velocity	100 nm/s	50 nm/s	10 nm/s
Max Velocity	250 μm/s	250 μm/s	500 μm/s
Compucentric rotation	✘	✘	✔
APPLICATION
Site specific lift-out	✔	✔	✔
Plan-view	P	P	✔
Vent free plan-view	✘	✘	✔
Backside Thinning	✘	✘	P
Atom Probe tomography sample preparation	P	P	✔
Cryogenic liftout	✔	✘	✘
Voltage contrast imaging	✔*	✔	✔
Charge neutralisation	✔	✔	✔
On-Tip analysis	✘	✘	✔
EBIC measurements	✘	O	O
EBAC measurements	✘	O	O
In Situ tip change	✘	O	✔

P: 需要OmniPivot样品台 O: 选配项 * 当连接低温时不行

OmniProbe 200由牛津仪器科技（上海）有限公司 为您提供，如您想了解更多关于OmniProbe 200报价、参数等信息 ，欢迎来电或留言咨询。