X-MaxN 的晶体尺寸从适合于微米分析的20 mm2到纳米材料分析专用150 mm2的共四种可选。尤其是150 mm2探测器,分析速度至少是普通探测器的两倍。
总览
探测器晶体尺寸可选,分别为150 mm2,80 mm2,50 mm2,20 mm2
无论晶体面积或大或小,X-MaxN 的分辨率始终如一的好——并符合标准ISO15632:2012
无论晶体尺寸如何,能谱仪外管尺寸及在电镜中的位置完全一致,确保相同条件下,计数率的增加只源于晶体尺寸的增加
强大的低能端分析,所有晶体面积的能谱仪均保证由Be开始
与上一代X-Max同,无论SEM或FIB均使用同一界面
无论晶体面积如何,优异的性能始终如一
因其独特地外置型FET场效应管设计,X-MaxN 的分辨率完全不受晶体面积变化的影响始终如一,且保证全部具有优异的低能端检测性能
探测器外管尺寸相同,意味着相同条件下,计数率仅与晶体面积有关
保证所有晶体面积的能谱仪均具有优异的能量分辨率
出众的低能端分析性能,保证所有尺寸的能谱仪皆可探测到Be元素
使用大面积能谱仪
低束流下有足够的计数率
尽可能高的实现图像的可视性及准确性
无需为能谱分析改变SEM的条件
在相同束流下,极大地提高计数率
缩短采集时间
统计性更高
实现小束斑下的能谱分析
提高能谱检测的空间分辨率
尽可能体现高分辨电镜的优势
晶体面积越大,X-射线计数效率越高
相同条件下,晶体面积越大:以前需要几分钟完成的工作,现在仅需要几秒钟——面/线分布更易获得
采集时间相同,可极大地提高分析精度及统计性
大面积能谱仪——快速获得所有显微分析结果
优异的低能端分析性能
X-MaxN 为低能端元素的分析做了巨大的优化——无论何种尺寸,均前所未有的表现出优异的低能端分析性能
所有尺寸的能谱仪均可保证检测到Be,可获得SiLI峰的面分布
超大面积的能谱仪——均具有优异的低能端分析性能
优异的空间分辨率
高空间分辨率,X射线扩展区域更小
大面积能谱仪可以在低加速电压及低束流下采集X-射线
纳米尺度的特征可以更好的被检测到
超大面积的能谱仪——使高级的纳米分析成为可能
注:该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证,不可用于临床诊断或治疗等相关用途