高低温真空探针台
产品概述：
锦正茂高低温真空探针台可进行真空环境下的高低温测试（4.2K~500K），可升级加载磁场，低温防辐射屏设计，样品台采用高纯度无氧铜制作，温度均匀性更好，温度传感器采用有着良好稳定性和重复性的PT100或者标定过的硅二极管作为测温装置，支持光纤光谱特性测试，兼容高倍率金相显微镜，可微调移动，器件的高频特性(支持频率上达67GHz)，探针热沉设计，LD/LED/PD的光强/波长测试，自动流量控制，材料/器件的IV/CV特性测试等。
应用范围：
锦正茂高低温真空探针台高低温真空环境下的芯片测试，材料测试，霍尔测试，电磁输运特性等。
可选附件：
þ 防震桌
þ 多级压缩制冷机
þ 机械泵/分子泵组/离子泵
þ 射频部件
þ 各类型频率真空接头
þ 各类DC探针、高频探针、主动式探针、电缆线等…
þ 各类探针夹具
þ Chuck运动装置
þ 电磁铁系统/超导磁铁系统
þ 1Mpa正压系统
þ 超高温升级选件
þ 超高真空升级选件
技术指标：
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型号 |
T81-50探针台 |
T80-50探针台 |
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制冷方式 |
液氦/液氮制冷 |
闭循环制冷机 |
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腔体材质 |
无磁不锈钢或者铝合金 |
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真空度 |
真空上等高达10-8Pa |
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真空腔观察窗尺寸 |
2inch（可选） |
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控温范围 |
4.2K-450K |
5K-450K |
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控温分辨率 |
0.001K控温仪相关 |
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温度稳定性 |
0.1K控温仪相关 |
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降温时间 |
40min |
150min内，视制冷机功率定 |
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温度传感器 |
硅二极管、PT100（3个，样品台和探针臂和防辐射屏上各一个） |
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加热电源 |
LVDC 低压直流 |
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样品台材质 |
镀金无氧铜 |
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样品台尺寸 |
直径20-50mm，可选100mm |
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样品台平整度 |
≤7μm |
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样品台固定方式 |
固定的样品台（可升级随位移台移动） |
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样品台振动级别 |
≤50纳米 |
≤1μm（三级减震） |
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探针臂数量 |
2个、4个、6个、8个可选 |
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探针臂机械精度 |
±12.5mm(可升级±25mm),精度1μm（可选） |
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探针种类 |
钨、铍铜、微波探针（可选高达67GHz的GSG探针） |
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探针调节 |
真空波纹管外部调节，手动控制 |
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放大倍数 |
16~100X/20~4000X |
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显微镜行程 |
X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z轴行程≥50.8mm |
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电力需求 |
220V 50-60Hz |
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