ETD-3000型离子溅射仪外观亮丽
做工精致，旋钮式定时器档位清晰，手感舒适；特殊定制的真空指示和电流指示表头沉稳大气，具有欧洲典雅风范；前面板上的微泄漏气阀门可以连接多种气体；调节溅射电流大小，成膜速度快，质量好；高压输出可使成膜更加牢固快速。功能控制和定时皆由CPU调度，使用范围广。
工作时结合内部自动控制电路很容易控制真空室压强、电离电流及选择所需的电离气体，获得最佳镀膜效果。
配有高位定性的飞跃真空泵
Bright appearance of ETD-3000 type ion sputtering instrument
Fine workmanship, knob timer gear clear, comfortable hand, special custom vacuum indication and current indication head calm atmosphere, with European elegant demeanor; micro leakage valve on the front panel can connect a variety of gas; adjust the size of sputtering current, fast film formation speed, good quality; high voltage output film forming firm Solid and fast. Functional control and timing are all scheduled by CPU, with a wide range of applications.
It is easy to control the vacuum chamber pressure, ionization current and choose the required ionization gas when working in conjunction with the internal automatic control circuit, so as to achieve the best coating effect.
Vacuum pump equipped with high quality
| 溅射气体 | 溅射靶材 | 溅射电流 | 溅射速率 | 样品仓尺寸 | 样品台尺寸 | 工作电压 |
| 根据实验目的可添加氩气，氮气等多种气体。 | 标配靶材为金靶，厚度为50mm*0.1mm。也可根据实际情况配备银靶、铂靶等。 | 最大电流 50mA,最大工作电流30mA | 优于40nm/min | 直径160mm，高120mm | 样品台尺寸可安装直径50mm和直径70mm的样品台，也可根据自身要求定制样品台 | 220V (可做110V), 50HZ |
需要镀膜的样品
| 电子束敏感的样品 | 非导电的样品 | 新材料 |
主要包括生物样品，塑 料样品等。S EM中的电 子束具有较高能量，在 与样品的相互作用过程中，它以热的形式将部 分能量传递给样品。如 果样品是对电子束敏感 的材料，那这种相互作 用会破坏部分甚至整个 样品结构。这种情况下，用一种非电子束敏感材 料制备的表面镀层就 可以起到保护层的作用，防止此类损伤； | 由于样品不导电，其表 面带有“电子陷阱”， 这种表面上的电子积累 被称为“充电”。为了 消除荷电效应，可在样 品表面镀一层金属导电 层，镀层作为一个导电 通道，将充电电子从材 料表面转移走，消除荷 电效应。在扫描电镜成 像时，溅射材料增加信 噪比，从而获得更好的成像质量。 | 非导电材料实验电极制作观察导电特性 |
注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
