日本电子RF-120系列高频电源 CVD

使用示例

规格和选项

射频-12010

射频-12020

射频-12030

射频-12040

最大功率输出

输出连接器

输入电压

输入电流

振荡方式

振荡频率

输出稳定性

脉动

谐波失真

冷却方式

外部尺寸（毫米）

宽度

深度

高度

重量（公斤）

750瓦	1.5千瓦	3千瓦	6千瓦
N型		LS2
交流 200V ±10V，三相，50/60 Hz
交流 5A	交流 8A	交流 20A	交流 35A
其他激发晶体振荡
13.56兆赫 ±0.005%
± 0.5%以下（最大输出，相对于50Ω阻性负载）
1%以下（最大输出，相对于50Ω阻性负载）
- 最大功率时为 50 dB
强制风冷		水冷式
		5~7升/分	5~6.5升/分
481	481	481	481
430	504	504	510
149	199	199	349
18	25	27	55

RF-12040由单元1（149毫米高/25千克）和单元2（199毫米高/30千克）组成。

外部尺寸不包括突起（例如后风扇）。
RF-56000外形尺寸 ： 105毫米（宽）×305毫米（深）×145毫米（高）

这是用于等离子体生成的13.56MHz高频电源（RF电源），用于溅射、蚀刻、CVD和离子镀等薄膜制造和加工。

RF-120系列是多功能电源，标配DeviceNet，RS232C和模拟接口，以及模式操作，弧形切割/计数功能，过去数据存储等。 我们还提供可与每个电源组合的匹配设备（匹配网络）。

特点

根据模式操作
射频电源内的预设输出和时间数据自动控制输出 每个模式最多可设置 5 个点

圆弧切割功能

电弧计数功能
计算电弧出现的次数，并在达到设定次数时停止输出。

脉冲操作（可选）
脉冲周期：100Hz~10kHz，占空比：20~80%
*脉冲发生器需单独使用

同步运行 连接到其他高频电源，可以同步运行

启动慢/减速

反射限幅器延续限制
测量自反射功率限制器运行以来经过的时间，并在达到设定时间时停止输出。

将过去数据存储异常时间过去
30秒的内部数据输出到外部

当匹配完成确认反射功率小于设定值时输出确认
信号。

圆弧切割操作确认输出

限幅器操作检查输出

入射和反射功率监视器输出

输入上电验证输出

射频输出检查输出

异常确认信号输出

设备网络，RS232C，模拟

CE标志一致性（不包括某些型号）

可选功能

手动控制面板 （RF-56000）

移相器

水冷入门端子（用于离子电镀）

日本电子RF-120系列高频电源 CVD由日本电子株式会社(JEOL) 为您提供，如您想了解更多关于日本电子RF-120系列高频电源 CVD报价、参数等信息 ，欢迎来电或留言咨询。