日本电子JIB-4000PLUS 聚焦离子束加工观察系统 高性能FIB镜筒

高性能FIB镜筒

JIB-4000PLUS采用高性能的FIB镜筒，最大离子束流高达 60 nA，可以扩展到90nA大束流（为可选件），能进行快速研磨。大电流下的快速加工尤其适合于大面积的研磨，100 μｍ以上的大截面也可以在短时间内制成。

图1  100μm 直径焊料凸块的截面制备和截面观察

用户友好的FIB装置

JIB-4000PLUS高性能的 FIB镜筒具有出色的可操作性，外观和GUI设计都很友好。 即使没用过FIB也能够轻松操作； 此外，该装置小巧紧凑为业界最小体积，安装场所的选择范围很大。

双样品台

JIB-4000PLUS标配的块状样品马达驱动样品台可供块状样品使用，此外还可以增配侧插式测角台（TEM用Tip-on 样品架可以直接插入）。侧插式测角台与JEOL的TEM系统通用，这样，FIB加工和TEM观察的反复交替就能很容易地进行。

3D观察功能

为了进行3D观察，设备标配连续切片截面观察功能。JIB-4000PLUS虽然是单束FIB，但是可以通过SIM像进行3D观察。用3D重构软件，可以将收集到的截面图像重建为3D图像，可以从各种角度显示3D图像。

                                                                                                 图2  CCD imaging center 的3D重构图

自动TEM制样功能

自动TEM制样功能 "STEMPLING" 是选配件。有了这个功能，制样不需要有很高的技能，任何人都能简单地制样，也可以对多个样品自动制样，提高工作效率。

 

图3  自动TEM制样功能 (STEMPLING) 的加工例    样品：焊料

丰富的附件

有各种附件可用来支持JIB-4000的操作。包括对电路修改应用特别有效的CAD导航系统，对特殊形状加工有效的矢量扫描系统等。通过给JIB-4000安装适当的附件，该系统可以支持样品制备以外的应用。

产品规格

FIB

离子源	Ga （镓）液态金属离子源
加速电压	1～30ｋV
放大倍率	×60 （用于视场搜索） ×200～×300,000
图像分辨率	5 nm (30 kV)
最大束流	60 nA (at 30 kV)， 90nA(at 30kV)option
可变光阑	12 档(马达驱动)
离子束加工形状	矩形、线状、点状
样品台	块状样品用 5 轴测角样品台 X:±11 mm Y:±15 mm Z:0.5 ～ －23 mm T:－5 ～ ＋60° R:360°无限 样品最大尺寸:  28 ｍｍφ（高度13 ｍｍ）、50 ｍｍφ（高度2 ｍｍ）

JIB-4000PLUS 聚焦离子束加工观察系统配置了高性能的离子镜筒(单束FIB装置)。 被加速的镓离子束经聚焦照射样品后，能对样品表面进行SIM观察 、研磨、及碳和钨等沉积。还可以为TEM制备薄膜样品，为观察样品内部制备截面样品。 该设备能配置3D观察功能、自动TEM样品制备功能，能对应多种制样需求。

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