JEC-3000FC自动离子溅射仪

JEC-3000FC自动离子溅射仪专为SEM样品制备设计，可在非导电样品表面自动涂覆均匀的铂等纳米级导电薄膜，有效消除电荷积累并增强成像信号。其采用磁控管电极与低压冷溅射技术，实现高效低损伤涂层。设备支持全自动真空与溅射流程，并可选用氩气或空气净化。可选配旋转倾斜样品台，确保复杂形貌样品涂层的均匀性与一致性，操作灵活便捷。