KYKY-EM8100场发射扫描电子显微镜用于半导体

KYKY-EM8100场发射扫描电子显微镜

KYKY-EM8100场发射扫描电子显微镜近年来发展起来的聚焦离子束（FIB）技术利用高强度聚焦离子束对材料进行纳米加工，配合扫描电镜（SEM）等高倍数电子显微镜实时观察，成为了纳米级分析、制造的主要方法。目前广泛应用于半导体集成电路修改、切割和故障分析、TEM制样等。

产品特点：

高性能肖特基场发射电子枪，亮度高、单色性好、束斑小、寿命长

具备卓越的低加速电压成像性能

超大样品腔室，更多扩展接口，满足多探测器、多功能联用、多嵌入原位测试

束流稳定，满足长时间工作需求

非导体试样或电子束敏感试样可不喷涂导电膜直接观测

技术指标：

应用领域：

电池材料、半导体、复合材料、高分子、动植物、微生物、粉末冶金、矿物、金属行业、建筑材料、化工材料、陶瓷材料