Schottky肖特基场发射电子枪,亮度高,单色性好,电子束斑小,寿命长
实现国产低压模式参数的突破
电子束加速镜筒
束流稳定度高,色散小,适宜于长时间的各种精确分析,如BSE,EDS,EBSD 等
低加速电压不导电样品可以直接观测,无需喷金
操作简便,配有轨迹球操作台,亦可使用鼠标完成所有的电镜操作
配有大行程样品台,电子束曝光,选配冷冻台,拉伸台,纳米操作手,兼容大部分国产或者进口配件
可以实现光学,样品台等等的非标定制
项目 | KYKY-EM8100F性能参数 | |
分辨率 | 1 nm(30KV); 3nm(1KV) | |
放大倍数 | 15x~800,000x | |
加速电压 | 0 ~ 30KV | |
电子枪 | Schottky肖特基场发射电子枪 | |
自动调整功能 | 聚焦、亮度/对比度、消像散、电子束对中等 | |
真空系统 | 高真空二次电子探测器,四分割背散射电子探头(具备保护探测器探头不被碰撞的功能) | |
行程 | X | 0 ~ 150mm |
Y | 0 ~ 150mm | |
Z | 0 ~ 60mm | |
R | 360° | |
T | -5° ~ 75° (最大样品直径375mm) | |
探测器 | SE探测器,BSE探测器,X-ray能谱仪(可选),EBSD(可选)等 |
注:该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证,不可用于临床诊断或治疗等相关用途