日本电子BS/JEBG/EBG 系列电子束蒸镀用电子枪 氧化物

电子束蒸镀法的特征

用电子束直接照射镀膜材料进行加热，因此热效率高，能蒸发高熔点金属、氧化物、化合物、升华性物质等各种材料。

镀膜材料在水冷铜坩埚内(*)被直接加热，因此不会象电阻加热式或感应加热式那样与坩埚发生反应。
*可能需要使用坩埚内衬。

能迅速控制输出，因而能精确地控制膜厚。

与溅射法及 CVD 法相比，能快速镀膜是一大特征。
对形成1µm 以上的厚膜也很有效。

日本电子制造的电子枪/电源的特征

[ 氧化物 ]
电子束垂直照射镀膜材料，束斑近似圆形，具有能量密度高的特征。此外，由于标准配备了快速扫描功能，非常适合蒸镀融点高、热传导性低的氧化物及升华性材料，能获得良好的熔痕，大面积的镀膜区域上膜厚分布均匀，重现性好。
[ 金属 ]
坩埚的选择范围很大，能进行多种、大量、高速率的蒸镀，还有用来抑制成膜时温度上升的剥离工艺用电子枪。
[ 合金复合膜 ]
往临近的两个或三个坩埚内充填不同的材料，使用专用的扫描控制器进行双源或三源蒸发，可以形成合金膜和复合膜。

产品特点：

用于光学薄膜及电极膜等各种薄膜形成的电子束蒸镀用电子枪/电源。

产品规格：

型号	zei大输出功率	偏转角度	灯丝	电子束扫描	坩埚	氧化物	金属
BS-60060DEBS	6.4kW	270°	Ｕ字形 （长寿命）	快速 扫描	无*2	◎	○
BS-60050EBS	10kW	270°	无*2	◎	○
BS-60040VDGN	10kW	270°	无*2	◎	○
BS-60030DGN	10kW	270°	无*2	◎	○
EBG-102UB6S	10kW	180°	漩涡形	12cc×6 个	◎	○
EBG-102UB4S	10kW	180°	12cc×4 个	◎	○
JEBG-102UH0	10kW	180°	无*2	◎	○
BS-60210DEM ＋BS-60140H4H	10kW	270°	直线线圈形 （长寿命）	中速 扫描	40cc×4 个	△	◎
BS-60210DEM ＋BS-60150H6H	10kW	270°	40cc×6 个	△	◎
EBG-203UB6S	20kW*1	270°	漩涡形	快速 扫描	12cc×6 个*3	○	◎
EBG-203UB4H	20kW*1	270°	12cc×2 个 28cc (半球)×2 个	○	◎
JEBG-203UA0	20kW*1	270°	无*4	○	◎
JEBG-303UA	30kW*1	270°	无*5	○	◎

*1: EB电源zei大输出功率为16kW，实际能使用的zei大输出功率为16kW。

*2: 可以定制　⇒12cc×4 或6个 等

*3: 坩堝小凹孔的形状可以改变　⇒ 28cc（φ45×20h）×6个， 51cc（φ60×20h）×3个等。

*4: 可以定制　⇒40cc（φ50×25h）×4或6个， 114cc（φ75×30h）×1个等

*5: 可以定制　⇒114cc（φ75×30h）×1个， φ34×20h×3个小凹穴（同时蒸镀用）， φ70×30h×4个 等

关于坩埚规格请另行咨询。

BS/JEBG/EBG 系列电子枪

用于光学薄膜及电极膜等各种薄膜形成的电子束蒸镀用电子枪/电源。

日本电子BS/JEBG/EBG 系列电子束蒸镀用电子枪 氧化物由日本电子株式会社(JEOL) 为您提供，如您想了解更多关于日本电子BS/JEBG/EBG 系列电子束蒸镀用电子枪 氧化物报价、参数等信息 ，欢迎来电或留言咨询。