CXF-200/1401型磁悬浮分子泵
磁悬浮分子泵的原理
磁悬浮分子泵是一种采用磁悬浮技术和分子泵技术相结合的高精密度泵类，是目前科技界的研究热点。该泵的特点是利用磁力来悬浮转子，使转子无接触运转，从而避免了机械磨损，减少了能量损耗，在超高真空中具有极高的抽气速度和极低的气体残留率。应用于半导体、光伏、平板显示、装饰镀膜、功能镀膜、科学研究、新能源、新材料、高能物理。
磁悬浮分子泵是依靠磁力轴承支撑轴系的分子泵。系列磁悬浮分子泵是KYKY为满足现代半导体制备、芯片制造、工业镀膜、科研设备等领域应用需求开发的真空获得设备，抽速为1400L/s到3000L/s，应用压力范围为20Pa到10-7Pa，包含ISO-K、ISO-F、ISO-CF三种气体入口连接形式。
产品特点
节能：无摩擦，避免热损耗、较其它类型产品能耗降低30％
高效：更长的连续工作时间、高气流量和高抽速
灵活：紧凑型结构，满足更小的物理空间需求、任意角度安装，适合各种设计需求、丰富扩展功能，满足客户定制化需求
技术指标
| 抽气速率（l/s） | N2：1400 Ar：1360 He：880 H2：560 | 压缩比 | N2：＞1E7 Ar：＞1E7 He：＞1E4 H2：＞1E3 |
| 极限压强（Pa） | 10-6（橡胶密封） 10-7（金属密封） | 进气口法兰 | DN200 ISO F（标配） DN200 CF(可选) DN200 LF(可定制) |
| 额定转速（rpm） | 30000 | 启动时间（min） | ≤6 |
| 停机时间（min） | ≤16 | 安装方式 | 任意角度 |
| 冷却方式 | 水冷 | 推荐前级泵抽速（l/s） | ≥16 |
应用领域
半导体、光伏、平板显示、装饰镀膜、功能镀膜、科学研究、新能源、新材料、高能物理
CXF-200/1401型磁悬浮分子泵应用于高能物理由北京中科科仪股份有限公司 为您提供，如您想了解更多关于CXF-200/1401型磁悬浮分子泵应用于高能物理报价、参数等信息 ，欢迎来电或留言咨询。
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