CXF-250/2301型磁悬浮分子泵
磁悬浮分子泵的应用场景
由于磁悬浮分子泵具有高精密度、高效率、高可靠性等优点，因此广泛应用于微电子、半导体、平板显示、真空冶金、真空包装等领域。特别是在半导体行业，磁悬浮分子泵已成为制造工艺中必不可少的核心设备之一，可以有效保护芯片、提高芯片质量、降低成本。
产品原理
磁悬浮分子泵是依靠磁力轴承支撑轴系的分子泵。系列磁悬浮分子泵是KYKY为满足现代半导体制备、芯片制造、工业镀膜、科研设备等领域应用需求开发的真空获得设备，抽速为1400L/s到3000L/s，应用压力范围为20Pa到10-7Pa，包含ISO-K、ISO-F、ISO-CF三种气体入口连接形式。
产品特点
节能：无摩擦，避免热损耗、较其它类型产品能耗降低30％
高效：更长的连续工作时间、高气流量和高抽速
灵活：紧凑型结构，满足更小的物理空间需求、任意角度安装，适合各种设计需求、丰富扩展功能，满足客户定制化需求
技术指标
| 抽气速率（l/s） | N2：2300 Ar：2250 He：1900 H2：850 | 压缩比 | N2：＞1E7 Ar：＞1E7 He：＞1E4 H2：＞1E3 |
| 极限压强（Pa） | 10-7（橡胶密封） 10-8（金属密封） | 进气口法兰 | DN250 ISO F（标配） DN250 CF(可选) DN250 LF(可定制) |
| 额定转速（rpm） | 27000 | 启动时间（min） | ≤8 |
| 停机时间（min） | ≤25 | 安装方式 | 任意角度 |
| 冷却方式 | 水冷 | 推荐前级泵抽速（l/s） | ≥22 |
应用领域
半导体、光伏、平板显示、装饰镀膜、功能镀膜、科学研究、新能源、新材料、高能物理
CXF-250/2301型磁悬浮分子泵应用于真空冶金由北京中科科仪股份有限公司 为您提供，如您想了解更多关于CXF-250/2301型磁悬浮分子泵应用于真空冶金报价、参数等信息 ，欢迎来电或留言咨询。
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