FJ-700型分子泵机组应用于半导体

分子泵的作用原理

分子泵的作用原理是依靠分子的运动规律实现的。分子泵内部有大量的旋转蒸发器，将气体分子吸入蒸发器内，然后在蒸发器内加热，使分子运动速度变快。由于蒸发器内部的细小管道非常长且弯曲，气体分子在管道内不断碰撞，速度变慢，最终被排放至容器外部。分子泵的排放速度不受气体压力的限制，能够实现高速排泄气体分子，从而创造出极度低压环境。

技术指标

进气口法兰：DN160 CF DN160 ISO-K

排气口法兰（ISO-KF）：DN40

测量范围（Pa）：1E^-5~1E⁵ Pa

抽速速率（L/s）：N₂：700 He：580 H₂：260 Ar：680

压缩比：N₂：1E⁹ He：1E7 H₂：1E6 Ar：1E9

极限压强（Pa）：CF:5E-5;ISO-K:5E-5

建议启动压强（Pa）：100

前级泵型号：RV6（ default ）

冷却方式：水冷、风冷

冷却水流量（L/min）：>1

冷却水温度（℃）：≤25

输入电压频率（V/Hz）：380±20/50HZ        220±10/50HZ

环境温度（℃）：水冷方式 5℃-40℃ 风冷方式 5℃-32℃

安装方式：垂直

适配电源型号：FD-ⅡB（非标）/TCDP-Ⅱ（标准）

外形尺寸L*W*H（mm）（高=地面-过渡腔电离规处）：550×690×850(水冷) 550x690x915（风冷）

重量（kg）：135

产品特性

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