FJ-620型分子泵机组应用于材料科学

应用领域

材料科学：分子泵可以用来去除以及控制材料内部的杂质、气体。同时，可以利用分子泵提供的低压量级实现材料的新型制备，如物理气相沉积。

技术指标

进气口法兰：DN160 CF DN160 ISO-K

排气口法兰（ISO-KF）：DN40

测量范围（Pa）：1E-5~1E5

抽速速率（L/s）：N2：600 He：380 H2：240 Ar：580

压缩比：N2：1E9 He：1E4 H2：1E3 Ar：1E9

极限压强（Pa）：CF:5E-5;ISO-K:5E-5

建议启动压强（Pa）：100

前级泵型号：RV6（default）

冷却方式：水冷/风冷

冷却水流量（L/min）：>1

冷却水温度（℃）：≤25

输入电压频率（V/Hz）：380±20/50HZ    220±10/50HZ

环境温度（℃）：水冷方式 Water cooling 5℃-40℃风冷方式 Air cooling 5℃-32℃

安装方式：垂直

适配电源型号：FD-ⅡB（非标）/TCDP-Ⅱ（标准）

外形尺寸L*W*H（mm）：550×690×956（LF口） 550×690×970（CF口）

重量（kg）：117

产品特性

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