FJ-620型分子泵机组应用于生产制造

分子泵在产品的生产制造流程中表面处理的环节发挥着不可或缺的作用，分子泵是一种高速旋转的机械泵，因此对平衡的要求很高，对固体异物非常脆弱，通常要在分子泵的入口处安装金属过滤网。分子泵在工作过程中，如果压强突然恶化，则有可能损坏叶片，分子泵与油封式旋片泵和涡轮式干泵相比，工作环境更加清洁，而且可以达到更高的真空度。但是，分子泵不能在大气压下工作，需要和其他能够在大气压下工作的粗抽真空泵(油封式旋片泵或涡轮式干泵)联合使用。分子泵构造复杂、价格昂贵，高速旋转工作时会有振动，分子泵的抽气机理与机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同，利用了动量传递原理，使分子定向流动而被排出泵外，从而达到抽气的目的。

技术指标

进气口法兰：DN160 CF DN160 ISO-K

排气口法兰（ISO-KF）：DN40

测量范围（Pa）：1E-5~1E5

抽速速率（L/s）：N2：600 He：380 H2：240 Ar：580

压缩比：N2：1E9 He：1E4 H2：1E3 Ar：1E9

极限压强（Pa）：CF:5E-5;ISO-K:5E-5

建议启动压强（Pa）：100

前级泵型号：RV6（default）

冷却方式：水冷/风冷

冷却水流量（L/min）：>1

冷却水温度（℃）：≤25

输入电压频率（V/Hz）：380±20/50HZ    220±10/50HZ

环境温度（℃）：水冷方式 Water cooling 5℃-40℃风冷方式 Air cooling 5℃-32℃

安装方式：垂直

适配电源型号：FD-ⅡB（非标）/TCDP-Ⅱ（标准）

外形尺寸L*W*H（mm）：550×690×956（LF口） 550×690×970（CF口）

重量（kg）：117

产品特性

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