FF-200/1200油润滑泵应用于电子器件

应用领域

科学研究、加速器、碳化硅、晶体晶振、真空炉、电真空、新能源、新材料、真空干燥、低温制冷、电子器件

产品特点

能满足较恶劣的使用环境要求（高温、粉尘等）

性能稳定，使用寿命长

维护保养简单，方便操作

适用范围广，性能稳定

技术指标

进气口法兰：DN200 CF DN200 ISO-K

排气口法兰（ISO-KF）：DN40

抽速速率（L/s）：N2：1200 He：750 H2：480 Ar：1160

压缩比：N2：1E9 He：1E4 H2：1E3 Ar：1E9

极限压强（Pa）：CF：6E-7 ISO-K：6E-6

最大连续前级压强（Pa）：400

最大前级压强（Pa）：N2：500

最大气载量（sccm）：N2：2300 He：1700 H2：1350 Ar：870

额定转速（RPM）：24000

启动时间（min）：≤9

冷却方式：水冷 

冷却水流量（L/min）：≥1

冷却水温度（℃）：≤25

电源电压（V AC）：DC24/AC220

最大功率（W）：≤750

适配电源型号：FD-II、FD-IIB、TCDP-II、TD-II

建议前级泵（L/s）：15

重量（kg）：39(LF) 41(CF)

尺寸

产品特性

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