MPI TS200- 半自动探针台
产品描述:
1. 单机多应用设计
适用于多种晶圆量测应用,如组件特性描述和建模,晶圆级可靠性 (WLR)、失效分析 (FA)、集成电路工程、微型机电系统 (MEMS) 和高功率 (HP)
2. 工效学设计
方便单手操作的快速释放拖移气浮载物台设计
坚固可承载多达10根DC 或4根RF微定们器在工作台
三段式工作台快升把手设计 (contact - separation- loading),实现高重现性
3. 弹性选配与升级性
另有多种晶圆载物台可做升级,亦有諸多配件如 DC/RF/mmW 微定位器、光学显微镜、影像镜头、电磁屏蔽箱等可搭载,以完全支援您的应用需求
MPI探针台系统是由来自于Cascade和安捷伦等公司的资深专家们研发和设计,专业提供探针台及所有相关直流/射频附件以及相关半导体测试整体解决方案。得益于其极高的性价比,广受国内外用户的好评。TS150,TS200,TS300是常用的手动式探针台,简单,直观,方便, 并确保 高度准确的测量。
以下是MPI探针台的特点:
Air-bearing stage-气浮式样品台技术:很多探针台的厂家通常配备的是传统的滚珠式/轴承式样品台,内部移动是都会产生摩擦,因此存在了响应慢,易损耗,需定期维护(添加润滑油)等固有缺点。MPI探针台的载物台采用最新的气浮支撑技术,我们成为Air-bearing stage技术。很好解决了传统的滚珠式/轴承式样品台固有缺点,即消除内部摩擦,避免日常使用损耗,免去定期维护等麻烦。并且该设计可以使得样品台在移动范围内360°移动,而不受X/Y导轨限制移动(其他品牌无法同时X/Y移动,只能选一个方向移动)。
b. Platen Lift技术-三段平面式升降及下针:影响探针台测试结果很大程度上取决于探针与样品的接触。MPI采用了三段式(0-300um-3mm)下针并且内置安全锁(其他厂家是两段),不仅实现了1um重复性,同时也使得整个下针过程变得十分平缓且平稳从而避免了撞针。这大大提升了用户的体验,方便了用户的操作。
c.温控触屏设计:MPI手动探针台可以选配各类样品台,包含2英寸、4英寸、6英寸、8英寸样品台,及加热样品台(200℃/300℃)。并且配备智能化触摸屏,可以随时快速调节样品台加热问题,实时显示温度变化。高精度、便捷的温度控制功能,便于客户进行实验设计和测试。
d. Microscope bridge mount:MPI探针台具备了Microscope bridge mount,方便用户自行购置并升级显微镜。这点也是其他探针台所不具备的。对于这类的用户而言,如果今后要升级显微镜,只能从探针台原厂购买。但是其实探针台厂家往往并不制造光学显微镜。而MPI则更多的为客户考虑,把显微镜的选择权交在客户手里。这也是MPI设计了Microscope bridge mount的初衷。
e. 所有核心部件均自行生产:诸如主机台,直流/射频探针座,直流/射频线缆及探针等核心部件均为MPI公司自行生产。很多探针台厂商的射频探针也都是从MPI购买的。此外,MPI探针台的产品线也非常丰富,拥有手动、半自动、全自动、射频/微波、高功能等所有探针台系列。
注:该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证,不可用于临床诊断或治疗等相关用途
售后服务承诺
免费上门安装:是
保修期:1年
是否可延长保修期:是
保内维修承诺:面议
报修承诺:面议
免费仪器保养:面议
免费培训:面议
现场技术咨询:有