薄膜热电参数测试系统产品特点
● 专门针对薄膜材料的Seebeck系数和电阻率测量。
● 测试环境温度范围达到81K~700K。
● 采用动态法测量Seebeck系数，避免了静态测量在温差测量上的系统误差，测量更准确。
● 采用四线法测量电阻率。
● 热电偶探针经过严格的筛选配对保证测试结果的准确和稳定。
● 软件操作简单，智能化可实现全自动模式。
薄膜热电参数测试系统测试实例
标准镍带测试结果
东华大学MoS2测试结果
MRS-3对Bi2Te3薄膜测试结果（中国科学院电工研究所提供样品）
MRS-3对Bi2Te3薄膜测试结果（中国科学院电工研究所提供样品）
薄膜热电参数测试系统技术参数
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型号 |
MRS-3 |
MRS-3RT |
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环境温度 |
81K~700K |
RT |
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温控方式 |
PID程序控制 |
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真空度 |
≤ 1Pa |
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测试气氛 |
真空 |
空气 |
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测量范围 |
泽贝克系数：S ≥ 8μV/K； 电阻率：0.1μΩ?m ~ 1000KμΩ?m |
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分辨率 |
泽贝克系数：0.05μV/K； 电阻率：0.05μΩ?m |
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相对误差 |
泽贝克系数 ≤ 7%，电阻率 ≤ 5% |
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测量模式 |
自动 |
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样品尺寸 |
长 x 宽:(10~18)x(4~14)mm2,薄膜厚度≥50nm |
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主机尺寸 |
采集箱：470x400x140，单位mm |
170x250x220，单位mm |
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重量 |
31.9kg |
3.5kg |
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薄膜热电参数测试系统样品要求
●样品满足上述样品尺寸，待测面需平整，薄膜均匀性好，保证与铜片接触良好
●薄膜材料厚度最低可至100nm，其均匀性有较高要求，薄膜厚度达到微米级别较好
●薄膜材料的衬底需选择电阻率较大或绝缘材料为宜，如玻璃、Si等材料
薄膜热电参数测试系统技术原理
动态法：测量Seebeck系数
在待测温场下给样品两端加一个连续变化的微小温差，通过记录样品两端温差和热电势的变化，然后将温差和热电势拟合成一条直线，直线斜率即为该材料在该温场下的Seebeck系数。
采用四线法测量电阻率。
注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
