产品特点
n 性能优异：系统抽速高、极限真空好，可通入大流量
工艺气体
n 环境清洁：提供无油真空环境，油泵系统可有效防止
油污染
n 使用便捷：便于移动，一键延时启动，启动时间连续
可调，接口丰富
n 应用广泛：实验室科研、质谱分析、表面分析、溅射
和蒸发镀膜等
主要配置
型号 组成 | FJ-80 | |
分子泵 | FF-63/80 | |
机械泵 | 干式隔膜泵 | 油封旋片泵 |
DIVAC 0.8T | GHD-031B | |
过渡腔 | DN63转CF35/KF40/KF16（可定制） | |
技术指标
分子泵抽气速率 | N2 | He | |||
62 L/s | 55 L/s | ||||
最大连续入口流量* | 100sccm | 80sccm | |||
最大连续入口压强* | 10 Pa | 10 Pa | |||
极限压强 | LF | CF | |||
< 3.5×10-6 Pa (2.6×10-8Torr) | < 5×10-7 Pa (3.7×10-9Torr) | ||||
入口法兰 | LF63/CF63 | ||||
旁抽接口 | Φ10快拧接头 | ||||
出口接口 | Φ8快插接头 | ||||
放气接口 | Φ8快插接头 | ||||
额定转速 | 72000 min-1 (±0.5‰) | ||||
分子泵启动时间 | ≤1.8min | ||||
分子泵启动延时t | 1~30min | ||||
前级泵 抽气速率 极限压强 | 干式隔膜泵 | 油封旋片泵 | |||
0.2L/s 300Pa | 0.5L/s 0.67Pa | ||||
冷却方式 | 风冷 | ||||
烘烤温度 | ≤100℃ | ||||
噪声 | < 55 dB(A) | ||||
工作环境磁场 | < 3 mT | ||||
工作环境温度 | 5~40 ℃ | ||||
供电 | 220VAC（±10%） | ||||
最大功耗（无负载） | 干式隔膜泵 | 油封旋片泵 | |||
255W | 280W | ||||
重量 | 干式隔膜泵 | 油封旋片泵 | |||
16 kg | 21 kg | ||||
* 测试条件：实验室条件下连续测试10h，风冷，环境温度20℃；
t 分子泵启动延时用于控制分子泵和前级泵启动的时间间隔，客户可根据实际情况自行设定。
注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
